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      硅片鏡面拋光

      2014/11/5 10:43:56
      硅片鏡面拋光

      硅片鏡面拋光

      詳細介紹

        以硅單晶錠為原料,經切片、磨片、拋光等加工工序,生產符合半導體器件要求的硅單晶片的硅...硅片拋光通常采用二氧化硅膠體拋光。這是一種化學機械拋光法??梢垣@得基本無損傷層的拋光鏡面,滿足制作大規模和超大規模集成電路的要求。

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